冷鏡式精密露點儀不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會結(jié)露。采用光電檢測技術，檢測出露層并測量結(jié)露時的溫度，直接顯示露點。鏡面制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷率和精密測量結(jié)露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。

冷鏡式精密露點儀露點測量中需注意的問題：

露點儀通常在大氣環(huán)境下存放和使用，由于環(huán)境空氣中的水分含量*，可達數(shù)千到數(shù)萬×10-6 V/V（體積分數(shù)），從而給露點測量操作造成了很大的困難，使得露點測量結(jié)果往往發(fā)散性比較大。要使測量數(shù)據(jù)準確可靠，除了保證儀器具有良好的性能外，還必須注意下面幾個問題：

（1）氣路系統(tǒng)應具有良好的密封性，以防止外界環(huán)境空氣中的水分滲入氣路系統(tǒng)中，影響測量結(jié)果；

（2）如果被測氣體將直接排入大氣，則應考慮大氣中的較高含量水分在濃差作用下向測量系統(tǒng)內(nèi)部反向擴散的問題。常用的方法為在儀器排放口連接一段適當長度的管子，其長度和管徑以不會造成背壓，影響測量腔的壓力為準；

（3）測量取樣管路應盡量短，并避免在管路上有較多的閥門和接頭以避免造成死角，從而減少可能的干擾；

（4）所使用的管道和測量腔室應選用憎水性強的材料，不銹鋼是較好的選擇，其次為聚四氟乙烯、銅和聚乙烯等，應盡量避免使用尼龍或橡膠材質(zhì)的管道進行露點測量。此外，管道和腔室內(nèi)壁應盡量保證光潔干凈。